Процессы при напылении тонких пленок оксида олова на поверхность стекла сериями сдвоенных лазерных импульсов. 2019, с.251-254
Authors: Зажогин А.П., Чинь Н. Х., Патапович М.П., Булойчик Ж.И.
Микро- и нанотехнологии в электронике
: :
Publishing year: 2019