Процессы при напылении тонких пленок чистого оксида цинка и легированного медью на поверхность стекла сдвоенными лазерными импульсами Материалы Х международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике». Нальчик. Россия. 28 мая-2 июня 2018 г. – С.284-287.
Authors: Зажогин А.П., Чинь Н. Х., Патапович М.П., Булойчик Ж.И.
Х международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике»
: :
Publishing year: 2018